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    壓力傳感器的過載保護

    發布時間:2020-07-21 08:47人氣:

    壓力傳感器有兩項參數:安全過載和極限過載,過載是指施加在壓力傳感器上的力超過壓力傳感器的量程。一般來說,壓力傳感器安全過載范圍為150%FS,極限過載范圍為200%FS。過載現象是電流過大,電氣設備被加熱,線路的長期過載會降低線路的絕緣水平。甚至燒毀傳感器設備或布線;嚴重過載情況下甚至會導致壓力傳感器彈性體變形而無法恢復導致傳感器報廢。過載保護是指即使負載超過額定負載,也不會有線路燒壞,但也有一定程度,一般為150%FS,并且不能繼續過載工作。

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    壓力傳感器有多種形式,每種結構的過載保護設計方法也不同。許多方法各有優缺點。使用MEMS技術的小范圍,高靈敏度壓力傳感器通常具有平膜,島膜,梁膜和其他結構通常在設計過載保護時通過凸起和其他方法實現。形成方法包括背蝕刻技術,硅直接鍵合技術和玻璃蝕刻技術。然而,這些結構通常具有很大的局限性,因為腔尺寸大,靈敏度進一步受限,并且硅晶片的利用率降低,制造工藝的復雜性增加,并且生產成本增加。
    目前,小范圍和高靈敏度壓力傳感器的研究重點集中在犧牲層結構壓力傳感器上。這主要是因為犧牲層結構壓力傳感器彈性膜片非常薄,厚度可以是2μm甚至更薄。在如此薄的結構中,如果使用擴散硅或多晶硅膜作為犧牲層結構壓力傳感器的應變電阻,則其厚度相對較大,這對彈性膜片的應力分布有很大影響,這是不利于犧牲層結構壓力傳感器的性能優化。因此,使用多晶硅納米薄膜來制造應變電阻器可以進一步利用犧牲層技術的優點。
    過載保護是每種傳感器的考慮因素,因為測量值可能大于使用期間的范圍。只有設計有過載保護的傳感器才能更好地使用,并且可以使用更長時間。如何設計每個傳感器的過載保護,過載范圍不同,所以無論您購買哪種傳感器,都必須知道它有多少過載保護,以便將來使用更方便。由于過載,也沒有燒毀電路的情況。
    盡管傳感器有一定的過載保護功能,仍請不要讓傳感器過載使用。作為廠家,我們建議選取壓力傳感器的時候,應先考慮傳感器的量程,計算出設備最大的推力或者拉力(包括可能產生的沖擊力),在精度允許范圍內盡量選大傳感器量程,以避免傳感器過載使用!更多壓力傳感器相關文章請見滄正傳感官網http://www.fpog.cn

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