如何解決微壓力傳感器靈敏度和非線性的矛盾

　　在壓力傳感器中微壓力傳感器是其中一個主要的分支。傳感器的靈敏度和線性度是傳感器最重要的性能特征。特別是對于超微壓力傳感器而言。小量程的微壓力傳感器的靈敏度和線性度一直是阻礙微壓力傳感器發展的一大因素。
　　為了解決微壓力傳感器靈敏度和非線性的矛盾,在結構上,綜合梁膜結構與平膜雙島結構的優點,采用雙島-梁結構。島區的面積不是按比例放大或縮小。首先，為了增加靈敏度，應盡可能減小窄梁區的長度和寬度。因為從對梁-膜-島結構的有限元分析和近似解析分析中發現，減小窄梁區的長度和寬度可以明顯地使梁上的應力增大。并且當中間窄梁的長度約為兩邊窄梁長度的2倍時，器件的線性度最好。